{"id":2471,"date":"2025-12-23T09:00:13","date_gmt":"2025-12-23T06:00:13","guid":{"rendered":"https:\/\/www.hylabs.co.il\/blog\/?p=2471"},"modified":"2026-01-11T12:58:29","modified_gmt":"2026-01-11T09:58:29","slug":"cleanroom_monitoring","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.hylabs.co.il\/blog\/cleanroom_monitoring\/","title":{"rendered":"\u05e0\u05d9\u05d8\u05d5\u05e8 \u05d4\u05d7\u05d3\u05e8 \u05d4\u05e0\u05e7\u05d9: \u05e2\u05e7\u05e8\u05d5\u05e0\u05d5\u05ea \u05e2\u05dc \u05d1\u05e1\u05d9\u05e1 \u05d4\u05e1\u05d8\u05e0\u05d3\u05e8\u05d8\u05d9\u05dd \u05d4\u05e8\u05d2\u05d5\u05dc\u05d8\u05d5\u05e8\u05d9\u05d9\u05dd"},"content":{"rendered":"\t\t
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\u05d4\u05ea\u05e8\u05d5\u05de\u05d4 \u05e9\u05dc \u05d4\u05d7\u05d3\u05e8 \u05d4\u05e0\u05e7\u05d9 \u05dc\u05de\u05d9\u05e7\u05e8\u05d5\u05d1\u05d9\u05d5\u05dc\u05d5\u05d2\u05d9\u05d4 \u05de\u05e8\u05e9\u05d9\u05de\u05d4 \u05d1\u05d6\u05db\u05d5\u05ea \u05d4\u05d9\u05db\u05d5\u05dc\u05ea \u05dc\u05d1\u05e6\u05e2 \u05e0\u05d9\u05e1\u05d5\u05d9\u05d9\u05dd \u05d1\u05ea\u05e0\u05d0\u05d9\u05dd \u05de\u05d1\u05d5\u05e7\u05e8\u05d9\u05dd. \u05d7\u05d3\u05e8\u05d9\u05dd \u05d0\u05dc\u05d5 \u05de\u05e9\u05de\u05e9\u05d9\u05dd \u05d1\u05d3\u05e8\u05da \u05db\u05dc\u05dc \u05dc\u05de\u05d7\u05e7\u05e8 \u05de\u05d3\u05e2\u05d9, \u05d9\u05d9\u05e6\u05d5\u05e8 \u05e0\u05e0\u05d5\u05de\u05d8\u05e8\u05d9, \u05d8\u05d9\u05e4\u05d5\u05dc \u05ea\u05d0\u05d9, \u05d4\u05db\u05e0\u05d5\u05ea \u05e8\u05d5\u05e7\u05d7\u05d9\u05d5\u05ea \u05d5\u05e2\u05d5\u05d3. \u00a0\u05d4\u05e1\u05d9\u05d5\u05d5\u05d2 \u05dc\u05d7\u05d3\u05e8 \u05e0\u05e2\u05e9\u05d4 \u05d1\u05d4\u05ea\u05d1\u05e1\u05e1 \u05e2\u05dc \u05d4\u05db\u05de\u05d5\u05ea \u05d5\u05d4\u05d2\u05d5\u05d3\u05dc \u05e9\u05dc \u05d4\u05d7\u05dc\u05e7\u05d9\u05e7\u05d9\u05dd \u05e4\u05e8 \u05d9\u05d7\u05d9\u05d3\u05ea \u05e0\u05e4\u05d7 \u05e9\u05dc \u05d0\u05d5\u05d5\u05d9\u05e8 \u05db\u05d0\u05e9\u05e8 \u05db\u05d9\u05d5\u05dd \u05e0\u05d3\u05e8\u05e9 \u05dc\u05e1\u05d5\u05d5\u05d2 \u05d0\u05ea \u05d4\u05d7\u05d3\u05e8 \u05d1\u05d4\u05ea\u05d0\u05dd \u05dc\u05e8\u05de\u05ea \u05d4\u05d6\u05d9\u05d4\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05d1\u05d5 \u05d4\u05d7\u05dc \u05de\u05d4\u05e8\u05de\u05d4 \u05d4\u05e0\u05de\u05d5\u05db\u05d4 \u05d1\u05d9\u05d5\u05ea\u05e8 \u05e9\u05dc \u05e0\u05d9\u05e7\u05d9\u05d5\u05df (Grade D\/ Iso 8) \u05d5\u05e2\u05d3 \u05d4\u05e8\u05de\u05d4 \u05d4\u05d2\u05d1\u05d5\u05d4\u05d4 \u05d5\u05d4\u05e0\u05e7\u05d9\u05d9\u05d4 \u05d1\u05d9\u05d5\u05ea\u05e8 (Grade A\/ Iso 5).<\/p>

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\u05d4\u05de\u05d6\u05d4\u05de\u05d9\u05dd \u05d4\u05e2\u05d9\u05e7\u05e8\u05d9\u05d9\u05dd: \u05d0\u05e0\u05d7\u05e0\u05d5<\/span><\/h3>

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<\/a>\u05e1\u05d5\u05d2\u05d9\u05dd \u05e9\u05d5\u05e0\u05d9\u05dd \u05e9\u05dc \u05e0\u05d9\u05d8\u05d5\u05e8 \u05de\u05d9\u05e7\u05e8\u05d5\u05d1\u05d9\u05d0\u05dc\u05d9 \u05d1\u05d7\u05d3\u05e8 \u05d4\u05e0\u05e7\u05d9<\/span><\/h3>

\u05dc\u05de\u05e8\u05d5\u05ea \u05e9\u05e4\u05e2 \u05d4\u05d0\u05de\u05e6\u05e2\u05d9\u05dd \u05dc\u05de\u05e0\u05d9\u05e2\u05ea \u05db\u05e0\u05d9\u05e1\u05ea \u05d6\u05d9\u05d4\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05dc\u05d7\u05d3\u05e8 \u05d4\u05e0\u05e7\u05d9, \u05d4\u05e0\u05d7\u05ea \u05d4\u05e2\u05d1\u05d5\u05d3\u05d4 \u05d4\u05d9\u05d0 \u05e9\u05d6\u05d9\u05d4\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05e2\u05e9\u05d5\u05d9\u05d9\u05dd \u05dc\u05d4\u05d9\u05db\u05e0\u05e1 \u05de\u05e2\u05ea \u05dc\u05e2\u05ea. \u05dc\u05db\u05df \u05e7\u05d5\u05d1\u05e2\u05d9\u05dd \u05d4\u05ea\u05e7\u05e0\u05d9\u05dd \u05e1\u05d5\u05d2\u05d9\u05dd \u05e9\u05d5\u05e0\u05d9\u05dd \u05e9\u05dc \u05d1\u05d3\u05d9\u05e7\u05d5\u05ea \u05e0\u05d9\u05d8\u05d5\u05e8 \u05d4\u05e0\u05e2\u05e9\u05d5\u05ea \u05d1\u05d0\u05d5\u05e4\u05df \u05e7\u05d1\u05d5\u05e2. \u05d4\u05d7\u05d3\u05e8 \u05d4\u05e0\u05e7\u05d9 \u05e0\u05d3\u05e8\u05e9 \u05dc\u05d4\u05d9\u05d5\u05ea \u05de\u05d1\u05d5\u05e7\u05e8, \u05d4\u05df \u05de\u05d1\u05d7\u05d9\u05e0\u05d4 \u05e4\u05d9\u05d6\u05d9\u05e7\u05dc\u05d9\u05ea \u05d5\u05d4\u05df \u05de\u05d1\u05d7\u05d9\u05e0\u05d4 \u05de\u05d9\u05e7\u05e8\u05d5\u05d1\u05d9\u05d0\u05dc\u05d9\u05ea, \u05dc\u05e8\u05d1\u05d5\u05ea: \u05d1\u05d3\u05d9\u05e7\u05d5\u05ea \u05d0\u05d5\u05d5\u05d9\u05e8, \u05de\u05e9\u05d8\u05d7\u05d9 \u05e2\u05d1\u05d5\u05d3\u05d4, \u05dc\u05d7\u05e5 \u05d4\u05d7\u05d3\u05e8, \u05dc\u05d7\u05d5\u05ea \u05d5\u05db\u05d9\u05d5\u05e6\u05d0 \u05d1\u05d6\u05d0\u05ea.<\/p>

\u05e2\u05dc \u05e4\u05d9 \u05d3\u05e8\u05d9\u05e9\u05d5\u05ea \u05d4\u05ea\u05e7\u05e0\u05d9\u05dd \u05d9\u05e9 \u05dc\u05d1\u05e6\u05e2 \u05d5\u05dc\u05d9\u05d3\u05e6\u05d9\u05d4 \u05dc\u05d7\u05d3\u05e8 \u05e0\u05e7\u05d9<\/a> \u05d8\u05e8\u05dd \u05ea\u05d7\u05d9\u05dc\u05ea \u05d4\u05e2\u05d1\u05d5\u05d3\u05d4 \u05d1\u05d5, \u05dc\u05e9\u05dd \u05ea\u05d9\u05e7\u05d5\u05e3. \u05e0\u05d4\u05d5\u05d2 \u05dc\u05d1\u05e6\u05e2 \u05d3\u05d9\u05d2\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05d4\u05df \u05d1\u05d6\u05de\u05df \u05de\u05e0\u05d5\u05d7\u05d4- \u201cat rest\u201d (\u05db\u05d0\u05e9\u05e8 \u05dc\u05d0 \u05e0\u05d5\u05db\u05d7\u05d9\u05dd \u05d0\u05e0\u05e9\u05d9\u05dd \u05d1\u05d7\u05d3\u05e8) \u05dc\u05e6\u05d5\u05e8\u05da \u05ea\u05d9\u05e7\u05d5\u05e3 \u05d4\u05ea\u05e0\u05d0\u05d9\u05dd \u05d1\u05d7\u05d3\u05e8 \u05e2\u05dc \u05db\u05dc \u05de\u05db\u05e9\u05d9\u05e8\u05d9\u05d5 \u05d5\u05d4\u05e6\u05d9\u05d5\u05d3 \u05d1\u05d5 \u05d5\u05d4\u05df \u05d1\u05d6\u05de\u05df \u05e2\u05d1\u05d5\u05d3\u05d4 \u2013 \u201cat operation\u201d (\u05db\u05d0\u05e9\u05e8 \u05e0\u05d5\u05db\u05d7\u05d9\u05dd \u05d1\u05d7\u05d3\u05e8 \u05de\u05e7\u05e1\u05d9\u05de\u05d5\u05dd \u05d4\u05d0\u05e0\u05e9\u05d9\u05dd \u05e9\u05e8\u05d5\u05e6\u05d9\u05dd \u05dc\u05ea\u05e7\u05e3 \u05d0\u05ea \u05d4\u05d7\u05d3\u05e8 \u05e2\u05d1\u05d5\u05e8\u05dd) \u05dc\u05d8\u05d5\u05d1\u05ea \u05ea\u05d9\u05e7\u05d5\u05e3 \u05d4\u05ea\u05e0\u05d0\u05d9\u05dd \u05d1\u05d7\u05d3\u05e8 \u05d1\u05de\u05e6\u05d1 \u05d4\u05db\u05d9 \u05de\u05d5\u05e2\u05de\u05e1 \u05de\u05d9\u05e7\u05e8\u05d5\u05d1\u05d9\u05d5\u05dc\u05d5\u05d2\u05d9\u05ea \u05d1\u05d5.<\/p>

\u05d1\u05de\u05d4\u05dc\u05da \u05d5\u05dc\u05d9\u05d3\u05e6\u05d9\u05d4 \u05dc\u05d7\u05d3\u05e8 \u05e0\u05e7\u05d9, \u05d5\u05d1\u05de\u05e1\u05d2\u05e8\u05ea \u05d4\u05d9\u05d9\u05e2\u05d5\u05e5 \u05d4\u05de\u05e7\u05e6\u05d5\u05e2\u05d9 \u05e9\u05d0\u05e0\u05d7\u05e0\u05d5 \u05de\u05e2\u05e0\u05d9\u05e7\u05d9\u05dd, \u05d0\u05e0\u05d5 \u05e0\u05e7\u05d1\u05e2 \u05d0\u05ea \u05db\u05de\u05d5\u05ea \u05d4\u05e0\u05e7\u05d5\u05d3\u05d5\u05ea \u05d1\u05d4\u05ea\u05d0\u05dd \u05dc\u05e1\u05d8\u05e0\u05d3\u05e8\u05d8\u05d9\u05dd \u00a0\u05d5\u05dc\u05d2\u05d5\u05d3\u05dc \u05d4\u05d7\u05d3\u05e8 (\u05e8\u05d0\u05d4 \u05e2\u05e8\u05da table A.1: ISO 14644-1) \u05db\u05d0\u05e9\u05e8 \u05d4\u05de\u05d9\u05e7\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05d4\u05e0\u05d1\u05d7\u05e8\u05d9\u05dd \u05d9\u05d4\u05d9\u05d5 \u05d1\u05e0\u05e7\u05d5\u05d3\u05d5\u05ea \u05d4\u05e7\u05e8\u05d9\u05d8\u05d9\u05d5\u05ea \u05d1\u05d7\u05d3\u05e8, \u05d3\u05d4\u05d9\u05d9\u05e0\u05d5, \u05d4\u05de\u05e7\u05d5\u05de\u05d5\u05ea \u05d4\u05db\u05d9 "\u05e7\u05e9\u05d9\u05dd \u05dc\u05d1\u05d3\u05d9\u05e7\u05d4" \u2013 Worst Case.\u00a0 \u05d1\u05d2\u05de\u05e8 \u05d4\u05d5\u05d5\u05dc\u05d9\u05d3\u05e6\u05d9\u05d4 \u05d5\u05d1\u05e2\u05d6\u05e8\u05ea \u05d4\u05dc\u05d9\u05da \u05e0\u05d9\u05d4\u05d5\u05dc \u05e1\u05d9\u05db\u05d5\u05e0\u05d9\u05dd \u05e0\u05d1\u05e1\u05e1 \u05d0\u05ea \u05de\u05d9\u05e7\u05d5\u05dd \u05d5\u05db\u05de\u05d5\u05ea \u05d4\u05e0\u05e7\u05d5\u05d3\u05d5\u05ea \u05d5\u05db\u05da \u05e0\u05d9\u05ea\u05df \u05d9\u05d4\u05d9\u05d4 \u05dc\u05d4\u05e4\u05d7\u05d9\u05ea \u05d0\u05ea \u05db\u05de\u05d5\u05ea \u05d4\u05e0\u05e7\u05d5\u05d3\u05d5\u05ea \u05d4\u05e0\u05d1\u05d3\u05e7\u05d5\u05ea \u05d1\u05d0\u05d5\u05e4\u05df \u05e9\u05d2\u05e8\u05ea\u05d9.<\/p>

\u05ea\u05d4\u05dc\u05d9\u05da \u05d5\u05dc\u05d9\u05d3\u05e6\u05d9\u05d4 \u05dc\u05d7\u05d3\u05e8 \u05e0\u05e7\u05d9 \u05d4\u05d9\u05e0\u05d5 \u05d7\u05e9\u05d5\u05d1 \u05de\u05d0\u05d5\u05d3 \u05d5\u05e0\u05d5\u05ea\u05df \u05d0\u05d9\u05e9\u05d5\u05e8 \u05dc\u05db\u05da \u05e9\u05e2\u05dc \u05d0\u05e3 \u05d4\u05e6\u05d9\u05d5\u05d3 \u05d1\u05d7\u05d3\u05e8 \u05d5\u05de\u05e7\u05e1\u05d9\u05de\u05d5\u05dd \u05d4\u05d0\u05e0\u05e9\u05d9\u05dd \u05d4\u05e2\u05d5\u05d1\u05d3\u05d9\u05dd \u05d1\u05d5 – \u05e2\u05d3\u05d9\u05d9\u05df \u05d4\u05ea\u05e0\u05d0\u05d9\u05dd \u05d1\u05d7\u05d3\u05e8 \u05de\u05ea\u05d2\u05d1\u05e8\u05d9\u05dd \u05e2\u05dc \u05d4\u05e2\u05d5\u05de\u05e1 \u05d4\u05de\u05d9\u05e7\u05e8\u05d5\u05d1\u05d9\u05d5\u05dc\u05d5\u05d2\u05d9 \u05db\u05da \u05e9\u05d4\u05d5\u05d0 \u05de\u05ea\u05db\u05e0\u05e1 \u05dc\u05e2\u05e8\u05db\u05d9 \u05d4\u05d8\u05d5\u05d5\u05d7 \u05d4\u05de\u05e6\u05d5\u05d9\u05e0\u05d9\u05dd \u05d1\u05e1\u05d8\u05e0\u05d3\u05e8\u05d8\u05d9\u05dd.<\/p>

\u05dc\u05d3\u05d9\u05d2\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05e0\u05d4\u05d5\u05d2 \u05dc\u05d4\u05e9\u05ea\u05de\u05e9 \u05d1\u05e9\u05e0\u05d9 \u05e1\u05d5\u05d2\u05d9\u05dd \u05e9\u05dc \u05e6\u05dc\u05d7\u05d5\u05ea: TSA \u05dc\u05e1\u05e4\u05d9\u05e8\u05d4 \u05db\u05dc\u05dc\u05d9\u05ea \u05d5\u05e6\u05dc\u05d7\u05ea \u05d0\u05d7\u05e8\u05ea \u05d4\u05d9\u05d0 \u05e6\u05dc\u05d7\u05ea SDA \u05e9\u05d1\u05d4 \u05d4\u05d0\u05d2\u05e8 \u05de\u05d5\u05e2\u05e9\u05e8 \u05d1\u05d7\u05d5\u05de\u05e8\u05d9\u05dd \u05dc\u05d2\u05d9\u05d3\u05d5\u05dc \u05e4\u05d8\u05e8\u05d9\u05d5\u05ea (\u05e9\u05de\u05e8\u05d9\u05dd \u05d5\u05e2\u05d5\u05d1\u05e9\u05d9\u05dd). \u05d1\u05d4\u05ea\u05d0\u05de\u05d4 \u05dc\u05e1\u05d5\u05d2 \u05d4\u05e6\u05dc\u05d7\u05ea \u05d4\u05df \u05de\u05d5\u05d3\u05d2\u05e8\u05d5\u05ea \u05d1\u05d8\u05de\u05e4\u05e8\u05d8\u05d5\u05e8\u05d5\u05ea \u05e9\u05d5\u05e0\u05d5\u05ea \u05d5\u05d1\u05ea\u05d5\u05dd \u05d4\u05d4\u05d3\u05d2\u05e8\u05d4 \u05db\u05de\u05d5\u05ea \u05d4\u05de\u05d9\u05e7\u05e8\u05d5\u05d0\u05d5\u05e8\u05d2\u05e0\u05d9\u05d6\u05de\u05d9\u05dd \u05e0\u05d1\u05d3\u05e7\u05ea.<\/p>

<\/a>\u05dc\u05d4\u05dc\u05df \u05e1\u05d5\u05d2\u05d9 \u05d4\u05e0\u05d9\u05d8\u05d5\u05e8\u05d9\u05dd \u05d4\u05e2\u05d9\u05e7\u05e8\u05d9\u05d9\u05dd \u05e9 hylabs \u05de\u05e6\u05d9\u05e2\u05d4:<\/span><\/h3>
  1. \u05e0\u05d9\u05d8\u05d5\u05e8 \u05d0\u05d5\u05d5\u05d9\u05e8 \u05e4\u05d0\u05e1\u05d9\u05d1\u05d9 \u05dc\u05ea\u05d9\u05e7\u05d5\u05e3 \u05d4\u05d7\u05d3\u05e8 (settling air)<\/a><\/strong><\/span><\/li>
  2. \u05e0\u05d9\u05d8\u05d5\u05e8 \u05d0\u05d5\u05d5\u05d9\u05e8 \u05e4\u05d0\u05e1\u05d9\u05d1\u05d9 \u05dc\u05e4\u05e8\u05d5\u05e6\u05d3\u05d5\u05e8\u05ea \u05d4\u05e2\u05d1\u05d5\u05d3\u05d4 (settling air)<\/a><\/strong><\/span><\/li>
  3. \u05d3\u05d9\u05d2\u05d5\u05dd \u05de\u05e9\u05d8\u05d7\u05d9\u05dd \u05d5\u05e0\u05d9\u05e7\u05d9\u05d5\u05df \u05d4\u05d7\u05d3\u05e8 (Contact)<\/a><\/strong><\/span><\/li>
  4. \u05e0\u05d9\u05d8\u05d5\u05e8 \u05d0\u05d5\u05d5\u05d9\u05e8 \u05d0\u05e7\u05d8\u05d9\u05d1\u05d9 (Active Air Sampler)<\/a><\/strong><\/span><\/li>
  5. \u05e0\u05d9\u05d8\u05d5\u05e8 \u05db\u05e4\u05e4\u05d5\u05ea \u05d5\u05dc\u05d1\u05d5\u05e9 (Personal monitoring)<\/a><\/strong><\/span><\/li>
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